Nella produzione di semiconduttori, i gas compressi ad alta purezza come azoto (HP N2), argon (HP Ar), elio (HP He) e aria secca pulita (CDA) assumono ruoli cruciali in vari processi. L'azoto è comunemente usato per lo spurgo e l'inertizzazione per prevenire ossidazione e contaminazione. L'argo è essenziale per l'incisione e lo sputtering del plasma, grazie alle sue proprietà di elemento inerte che garantiscono la rimozione e la deposizione precise del materiale. L'elio, grazie alla sua superiore conduttività termica, è fondamentale nei sistemi di raffreddamento e per il rilevamento delle perdite. L'aria pura, ovvero priva di contaminanti, viene utilizzata in camera sterile per garantire i rigorosi standard di qualità.
La misurazione della portata di questi costosi gas è fondamentale per garantire un costante controllo dei costi, oltre che del processo, dell'efficienza e della sicurezza. Il monitoraggio preciso della portata consente un'erogazione accurata dei gas, riducendo al minimo gli sprechi e garantendo prestazioni ottimali nei processi di produzione.
L'indicatore di portata d'aria compressa Flexim FLUXUS G721 CA è una tecnologia a ultrasuoni clamp-on non intrusiva, unica nel suo genere, che può essere applicata per misurare le portate d'aria compressa anche a pressioni molto basse (fino a 3 bar su linee in acciaio e pressione atmosferica su linee in plastica). Inoltre, anche le portate più basse vengono catturate con precisione, rivelando le minime portate provenienti dalle perdite più piccole che non dovrebbero essere presenti. Il FLUXUS G721 CA è particolarmente adatto a misurare in modo non intrusivo le quantità prelevate in singoli punti della rete dell'aria compressa e a rilevare le perdite al suo interno.
Flexim FLUXUS G601 CA Energy è lo strumento ideale per svolgere compiti completi di efficienza energetica nell'industria e nella gestione degli impianti (secondo gli standard DIN ISO 50001), consentendo di misurare le portate d'aria compressa, monitorare le quantità di energia termica e determinare la portata di qualsiasi tipo di mezzo liquido o gassoso con un solo dispositivo portatile. Progettati per analizzare intere infrastrutture di aria compressa, bilanciando gli impianti, misurando quasi ogni singola tratta, determinando l'efficienza dei compressori e, infine, quantificando e localizzando le perdite. Misura con un diametro interno da DN6 fino a DN2100 in pressione da 3 bar in su.
Il misuratore di portata a ultrasuoni per aria compressa Flexim FLUXUS G532 è stato progettato appositamente per la misurazione quantitativa di aria compressa e gas tecnici. Un misuratore dell'aria compressa compatto con calcolo integrato della portata in volume standard, in grado di elaborare anche dati di misura online da sensori di temperatura e pressione. Il collaudato metodo della differenza del tempo di transito offre grandi vantaggi, soprattutto per l'aria compressa e i gas tecnici, quali: vengono rilevate portate fino a 0,03 ft/s, la misura è sempre bidirezionale e non è influenzata da umidità, olio o particelle di sporco. Il FLUXUS G532 CA dispone di un'interfaccia USB e LAN e gestisce le comuni interfacce di comunicazione Modbus TCP, Modbus RTU, BACnet MS/TP, BACnet IP e M-Bus.
L'indicatore di portata d'aria compressa Flexim FLUXUS G731 CA vanta una tecnologia a ultrasuoni clamp-on non intrusiva, unica nel suo genere, che può essere applicata per misurare le portate d'aria compressa anche a pressioni molto basse (fino a 3 bar su linee in acciaio e pressione atmosferica su linee in plastica). Inoltre, anche le portate più basse vengono catturate con precisione, rivelando le perdite più piccole. Il FLUXUS G731 CA è particolarmente adatto a misurare in modo non intrusivo le quantità prelevate in singoli punti della rete dell'aria compressa e a rilevare le perdite al suo interno.