Halbleiterfertigung und Herstellung
Emersons Halbleiterherstellungsausrüstung und -fertigungstechnologie sorgen für eine hohe Reinheit im Halbleiterherstellungsprozess.
Emersons Halbleiterherstellungsausrüstung und -fertigungstechnologie sorgen für eine hohe Reinheit im Halbleiterherstellungsprozess.
Bei kritischen Anwendungen der Halbleiterfertigung können Ausfallzeiten verheerende Auswirkungen haben. Wir wissen, dass es notwendig ist, Verunreinigungen zu reduzieren und einen zuverlässigen Prozess bereitzustellen, um optimale Ertragsraten zu erzielen. In Halbleiterfabriken und Gießereien auf der ganzen Welt vertraut man auf die Halbleiterherstellungsausrüstung und -fertigungstechnologie sowie die Regler für Gaszufuhrsysteme von Emerson, wenn es darum geht, höchste Leistung zu erzielen. Sie können sich auf das globale Netzwerk von Emerson verlassen, um lokale Unterstützung für Ihren Halbleiterherstellungsprozess zu erhalten.
Halbleiterhersteller benötigen robuste Bulk-Spezialgassysteme (Bulk Specialty Gas Systems, BSGS), die den Durchsatz und die Produktionszeit durch die kontinuierliche Zufuhr von Spezialgasen bei hohen Volumen und Durchflussraten maximieren können. Die Regler von Emerson ermöglichen den hochvolumigen Gastransport von der Erzeugung bis zum Verbrauch. Unsere Produkte sichern die Verfügbarkeit, bieten eine zuverlässige, zentrale Anlaufstelle und sorgen gleichzeitig für einen hochvolumigen Durchsatz bei all Ihren Anwendungen.
Anwender sind auf eine präzise Druckregelung an Gasverteilungspunkten angewiesen, die mit Fertigungswerkzeugen und -anwendungen verbunden sind. Die Regler von Emerson bieten eine hervorragende Druckregelung zwischen Ventilblock-Schaltkästen und Prozesswerkzeugen. Unsere technischen Lösungen tragen dazu bei, einen zuverlässigen Kontaktpunkt zu schaffen, der die Qualität, Reinheit und Wiederholbarkeit des Prozesses sicherstellt und dazu beiträgt, die Produktivität zu erhöhen, indem die Anzahl der Produkte, die durch Medienverunreinigungen defekt werden, reduziert wird.
Gasschranksysteme sind auf eine präzise Kontrolle der oft gefährlichen Stoffe angewiesen, um sie für die Verwendung in Halbleiterfertigungssystemen sicher und effizient zu lagern. Die TESCOM-Regler von Emerson tragen dazu bei, die Integrität dieses wichtigen Punkts in der Gasverteilungskette zu gewährleisten. Durch die Verbesserung der Benutzeroberfläche und der Steuerungen ermöglicht unsere Technologie den Endbenutzern, die Wartung zu vereinfachen, die Ausfallzeiten zu reduzieren und die Produktionspläne zu optimieren.
Die TESCOM Gasdruckregler von Emerson sind optimierte Regler, die ein zuverlässiges und sicheres Halbleiter-Gasverteilungssystem über alle Ihre Fertigungsanlagen hinweg ermöglichen. Diese Produkte sind einfach zu bedienen und zu installieren sowie vielseitig einsetzbar. Sie bieten modulare Funktionen, die ideal für die Anpassung oder Erweiterung von Produktionszielen geeignet sind. Die Produkte unterstützen individuelle Lösungen und können an Standardanwendungen mit hoher Integrität angepasst werden. Unser vertrauenswürdiges, globales Netzwerk bietet Support für hochspezifische Anwendungsherausforderungen vor Ort.
Der Halbleiterherstellungsprozess hängt von der Kontrolle luftgetragener molekularer Verunreinigungen (AMC) auf Produktionswerkzeugen und Halbleiterwafern ab, was durch die reduzierte geometrische Grundfläche der Wafer noch schwieriger ist. Die Magnetventiltechnologie von Emerson bietet eine reaktionsschnelle, präzise Durchflussregelung und ermöglicht eine überragende Leistung und Zuverlässigkeit in Stickstoffspülstationen, was zur Reduzierung von Wartungs- und Ausfallzeiten bei gleichzeitiger Erhöhung des Durchsatzes beiträgt.
Die Herausforderung von hohen Durchsatz- und Zuverlässigkeitsvorgaben hat die Halbleiterfertigung von Systemintelligenz und -kommunikation abhängig gemacht. Die präzisen Temperatur-, Durchfluss-, Druck- und Positionsregler von Emerson werden durch hochentwickelte IIoT-Fähigkeiten unterstützt, die alle Elemente des Handlingsystems berühren. Unsere Lösungen bieten eine konsistente Kommunikation mit dem Ventil und ermöglichen die Integration des Webservers in die anspruchsvollsten Anwendungen für die Halbleiterfertigung.
Learn about Emerson's capabilities with our TESCOM branded products such as our 64 series regulators along with semiconductors. TESCOM high purity regulators used for applications that require high cleanliness levels, low leakage rates, and accurate pressure control.
Emerson's pressure control solutions ensure high purity of the process with minimal media contamination, resulting in optimized fabrication yield rates. As a global supplier, we offer you quick and local support to meet the increased demand.
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Häufig gestellte Fragen zur Halbleiterfertigung und -herstellung
Die Lösungen von Emerson sorgen für eine hohe Reinheit im Prozess mit minimaler Medienverunreinigung. Unsere Produkte haben sich unter rauen Bedingungen als zuverlässig erwiesen und sind ideal für strenge Reinraumbedingungen. Unsere Produkte und Lösungen wurden für einen zuverlässigen und effizienten Betrieb unter den anspruchsvollen Bedingungen der Halbleiterfertigung entwickelt. Sie sind leistungsstark mit einem hohen Maß an Zuverlässigkeit, was zu einem zuverlässigen Chipherstellungsprozess führt.
Von entscheidender Bedeutung ist, dass die Produkte von Emerson bei Vorhandensein von Spezialgasen überragend funktionieren und dazu beitragen, Wartungs- und Ausfallzeiten zu reduzieren und Herstellungsprobleme proaktiv zu verhindern oder zu beheben.
Die digitale Transformation der Halbleiter-Wafer-Fertigung kann Transparenz, Präzision und Genauigkeit in jedem Schritt des Fertigungsprozesses liefern und Daten sammeln, die die Anlageneffizienz und -produktivität verbessern können.
Daten sind der Schlüsselfaktor der Digitalisierung. Ein Beispiel: Druckänderungen sind ohne Echtzeit- und historische Daten nur schwer wahrnehmbar und werden womöglich erst dann als Problem offenkundig, wenn sie sich negativ auf die Waferqualität oder die Produktivität auswirken. Die digitale Transformation ermöglicht es dem Bediener, kleinste Druckabweichungen zu erkennen und Leckagen oder andere Probleme proaktiv zu beheben, bevor es zu einer Beeinträchtigung der Herstellung oder Qualität kommt.
Die Halbleiterfertigung ist der industrielle Prozess, der zur Herstellung von Computerchips für moderne Elektronikgeräte wie Mobiltelefone, Computer, Fernseher, Kühlschränke und Autos verwendet wird.
Viele korrosive, brennbare Gase und Chemikalien wie Schwefelwasserstoff, Wasserstoffbromid und Wolframhexafluorid sind für die Halbleiterherstellung unerlässlich. Außerdem können sie zu schweren Verletzungen der Bediener oder zu Schäden an Maschinen führen, die sie handhaben.
Die vorbeugende Wartung hängt davon ab, eine umfassende Geschichte über den Maschinenzustand zu entwickeln. Durch den Zugriff auf Daten in Echtzeit können Sie informierte, vorbeugende Entscheidungen über Ihre Fertigungssysteme und Maschinen treffen, bevor Probleme auftreten und zu geringerer Produktivität, Schäden oder einem verschwenderischen Energieverbrauch führen. Die Wartung kann auf geplante Wartungszeiten beschränkt werden und die Anlage kann Probleme vermeiden, die durch Leckagen, Korrosion oder andere Beeinträchtigungen verursacht werden, die stufenweise auftreten können.
Die Waferherstellung ist ein energieintensiver Prozess. Etwa 46 Liter hochreines Wasser werden benötigt, um einen Quadratzoll eines Mikrochips herzustellen. Der Fußabdruck des Stromverbrauchs von einem Quadratzoll Mikrochip liegt bei etwa 7,5 kWh.
Im Prozess kommen außerdem neben Wasser und Energie noch enorme Mengen korrosiver Gase zum Einsatz. Die Nachfrage nach Strom und Wasser ist bei der Halbleiterfertigung so hoch, dass eine saisonale Dürre die Herstellungsleistung gefährden kann. Der Wasserverbrauch einer Halbleiteranlage entspricht in der Regel dem Tagesverbrauch einer mittelgroßen Stadt.
Daher geht es bei Nachhaltigkeitsinitiativen für Halbleiterhersteller nicht nur um Kostensenkungen: Sie tragen auch dazu bei, die Betriebskontinuität zu gewährleisten. Es ist von entscheidender Bedeutung, Systeme zu implementieren, die Ihnen dabei helfen, jeden Aspekt des Energie- und Wasserverbrauchs zu überwachen, Leckagen zu erkennen und die Ausrüstung proaktiv zu warten.
Unsere Produkte für Flüssigkeitsregelung und Pneumatik sind so konzipiert, dass sie selbst beim Vorhandensein von Spezialgasen, die für die Wafer- und Chipherstellung unerlässlich sind, eine überragende Leistung erbringen. Ausgestattet mit IIoT-Sensoren und -Konnektivität helfen sie Ihnen dabei, Temperatur, Durchfluss, Druck und Stellungsregelung mit höherer Präzision und Energieeffizienz zu überwachen, als dies mit analogen Systemen möglich ist.
Unsere Proportional-, Universal- und Kryoventile, Druckregelungslösungen und pneumatischen Steuerungen können Ihnen hoch kalibrierte Prozessregelungen bieten, die für das Erreichen höchster Zuverlässigkeitsstandards in Halbleitern unerlässlich sind. Darüber hinaus kann unser unübertroffenes globales Netzwerk Ihnen helfen, anspruchsvollste Zeitpläne mit minimalen Ausfallzeiten und Produktionsunterbrechungen einzuhalten.
