Durchflussmessung von Reinstgasen
Eingriffsfreie Durchflussmessung von reiner Luft, Stickstoff, Argon und Helium
Überwachung teurer Reingase in der Halbleiterherstellung
In der Halbleiterherstellung spielen hochreine Druckgase wie Stickstoff (HP N2), Argon (HP Ar), Helium (HP He) und saubere trockene Luft (CDA) bei verschiedenen Prozessen eine entscheidende Rolle. Stickstoff wird üblicherweise zum Spülen und Inertieren verwendet, um Oxidation und Verunreinigung zu verhindern. Argon ist aufgrund seiner Inert-Eigenschaften für die Plasmaätzung und das Sputtern unerlässlich und gewährleistet so eine präzise Materialbeseitigung und -ablagerung. Helium ist aufgrund seiner überragenden Wärmeleitfähigkeit entscheidend für Kühlsysteme und die Erkennung von Leckagen. Reine Luft, frei von Verunreinigungen, wird in Reinraumumgebungen verwendet, um strenge Qualitätsstandards einzuhalten.
Die Durchflussmessung dieser teuren Gase ist von entscheidender Bedeutung, um einheitliche Kostenkontrolle, Prozesssteuerung, Effizienz und Sicherheit zu gewährleisten. Präzise Durchflussüberwachung ermöglicht genaue Gaszufuhr, minimiert Abfall und gewährleistet optimale Leistung bei Herstellungsprozessen.
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Produktlösungen
Das Flexim FLUXUS G731 CA Durchflussmessgerät für Druckluft ist eine einzigartige, eingriffsfrei Clamp-on-Ultraschalltechnologie, die auch bei sehr niedrigen Drücken (bis zu 3 bar bei Stahlleitungen und atmosphärischem Druck bei Kunststoffleitungen) zur Messung des Druckluftdurchflusses eingesetzt werden kann. Darüber hinaus werden selbst die niedrigsten Durchflussmengen genau erfasst, sodass auch geringste Durchflussmengen an kleinsten Leckstellen erkannt werden, wo keine vorhanden sein sollten. Das FLUXUS G721 CA eignet sich insbesondere für die Messung ohne Prozesseingriff von Mengen, die an einzelnen Punkten im Druckluftnetz entnommen werden, sowie für die Erkennung von Leckagen im Druckluftnetz.
- Eingriffsfreie Durchflusssmessung von Druckluft und technischen Gasen ab einem Absolutdruck von 3 bar
- Erhältlich auch als Zwei-Kanal-Gerät, mit Edelstahlgehäuse und ATEX/IECEx- und FM-Zulassung
- Integrierte Normvolumenstromberechnung
Prozessmedium
Luft, Stickstoff, Sauerstoff, Helium, Argon
Genauigkeit
Messunsicherheit des Messsystems (Volumendurchfluss): ±0,3 % des Messwerts, 0,005 m/s (±0,02 ft/s)
Messunsicherheit am Messpunkt (Volumendurchfluss): ±1 bis 2 % des Messwerts, ±0,005 m/s (±0,02 ft/s)
Messunsicherheit am Messpunkt (Volumendurchfluss): ±1 bis 2 % des Messwerts, ±0,005 m/s (±0,02 ft/s)
Reproduzierbarkeit
0,15 % des Messwerts, ±0,005 m/s (±0,02 ft/s)
Das Flexim FLUXUS G601 CA Energy ist das ideale Werkzeug zur Durchführung kompletter Energieeffizaufgaben sowohl in der Industrie als auch im Gebäudemanagement (gemäß Normenreihe DIN ISO 50001); denn es ermöglicht die Messung des Druckluftdurchflusses, die Überwachung der Wärmeenergiemengen und die Bestimmung des Durchflusses von flüssigen oder gasförmigen Medien aller Art mit nur einem tragbaren Gerät. Entwickelt, um die gesamte Druckluftinfrastruktur zu überwachen, die Anlagen auszubalancieren, an fast jedem einzelnen Abschnitt zu messen, die Effizienz von Verdichtern zu bestimmen und nicht zuletzt um Leckagen zu quantifizieren und zu lokalisieren. Bei Innendurchmessern von DN6 bis DN2100 misst das Gerät bei Drücken ab 3 bar.
- Portables Gerät für die eingriffsfreie Durchfluss- und Wärmestrommessung von Druckluft, technischen Gasen und Flüssigkeiten
- Bidirektionale Messung von Druckluft mit hoher Messdynamik
- Messung von Druckluft und Gasen ab einem Absolutdruck von 3 bar
Genauigkeit
Messunsicherheit des Messsystems (Volumendurchfluss): ±0,3 % MW. ±0,005 m/s
Messunsicherheit am Messpunkt (Volumendurchfluss): ±1 bis 2 % MW. ±0,005 m/s
Messunsicherheit am Messpunkt (Volumendurchfluss): ±1 bis 2 % MW. ±0,005 m/s
Reproduzierbarkeit
0,15 % MW. ±0,005 m/s
Bereich
Bereich der Strömungsgeschwindigkeit: 0,03 bis 75 ft/s für Flüssigkeiten
0,03 bis >100 ft/s für Gase (abhängig von der Rohrnennweite)
0,03 bis >100 ft/s für Gase (abhängig von der Rohrnennweite)
Das Ultraschall-Durchflussmessgerät Flexim FLUXUS G532 für Druckluft wurde speziell für die Mengenmessung von Druckluft und technischen Gasen entwickelt. Ein kompaktes Druckluftmessgerät mit integrierter Standard-Volumendurchflussberechnung, das auch Online-Messdaten von Temperatur- und Drucksensoren verarbeiten kann. Das bewährte Laufzeitdifferenzverfahren bietet insbesondere für Druckluft und technische Gase immense Vorteile, z. B.: Durchflussgeschwindigkeiten von bis zu 0,01 m/s (0,03 ft/s) werden erkannt, die Messung erfolgt immer bidirektional und wird durch Feuchtigkeit, Öl- oder Schmutzpartikel nicht beeinflusst. Das FLUXUS G532 CA verfügt über USB- und LAN-Schnittstellen und kann mit den üblichen Kommunikationsschnittstellen Modbus TCP, Modbus RTU, BACnet MS/TP, BACnet IP und M-Bus zusammenwirken.
- Eingriffsfreie Durchflusssmessung von Druckluft und technischen Gasen ab einem Absolutdruck von 3 bar
- Integrierte Normvolumenstromberechnung
- Außerordentliche Messdynamik von sehr niedrigen bis zu sehr hohen Strömungsgeschwindigkeiten – einfache Erkennung von Leckagen und Lastspitzen
Prozessmedium
Druckluft, Industrie-, Pharma- und Reingase
Genauigkeit
Messunsicherheit des Messsystems (Volumendurchfluss): ±0,3 % des Messwerts, 0,005 m/s (±0,02 ft/s)
Messunsicherheit am Messpunkt (Volumendurchfluss): ±1 bis 2 % des Messwerts, ±0,005 m/s (±0,02 ft/s)
Messunsicherheit am Messpunkt (Volumendurchfluss): ±1 bis 2 % des Messwerts, ±0,005 m/s (±0,02 ft/s)
Reproduzierbarkeit
0,15 % des Messwerts, ±0,005 m/s (±0,02 ft/s)
Das Flexim FLUXUS G731 CA Durchflussmessgerät für Druckluft ist eine einzigartige, eingriffsfrei Clamp-on-Ultraschalltechnologie, die auch bei sehr niedrigen Drücken (bis zu 3 bar bei Stahlleitungen und atmosphärischem Druck bei Kunststoffleitungen) zur Messung des Druckluftdurchflusses eingesetzt werden kann. Darüber hinaus werden selbst die niedrigsten Durchflussmengen genau erfasst, sodass auch kleinste Leckstellen erkannt werden. Das FLUXUS G731 CA eignet sich insbesondere für die Messung ohne Prozesseingriff von Mengen, die an einzelnen Punkten im Druckluftnetz entnommen werden, sowie für die Erkennung von Leckagen im Druckluftnetz.
- Nicht-intrusive Durchflussmessung für Druckluft und technisches Gas ab 3 bar Absolutdruck.
- Erhältlich als zweikanaliges Messgerät, mit Edelstahlgehäuse, ATEX/IECEx- und FM-Zulassung.
- Integrierte Standard-Volumendurchflussberechnung.
Prozessmedium
Luft, Stickstoff, Sauerstoff, Helium, Argon
Genauigkeit
Messunsicherheit des Messsystems (Volumendurchfluss): ±0,3 % des Messwerts, 0,005 m/s (±0,02 ft/s)
Messunsicherheit am Messpunkt (Volumendurchfluss): ±1 bis 2 % des Messwerts, ±0,005 m/s (±0,02 ft/s)
Messunsicherheit am Messpunkt (Volumendurchfluss): ±1 bis 2 % des Messwerts, ±0,005 m/s (±0,02 ft/s)
Reproduzierbarkeit
0,15 % des Messwerts, ±0,005 m/s (±0,02 ft/s)
