Monitorización de gases puros costosos en la fabricación de semiconductores
En la fabricación de semiconductores, los gases comprimidos puros de alta pureza como el nitrógeno (HP N2), el argón (HP Ar), el helio (HP He) y el aire seco limpio (CDA) desempeñan un papel crucial en diversos procesos. El nitrógeno se utiliza habitualmente como purga e inerción para evitar la oxidación y la contaminación. El argón es esencial en el grabado y la pulverización plasmática debido a sus propiedades inertes, que garantizan la eliminación y el depósito precisos del material. El helio, con su conductividad térmica superior, es vital en sistemas de enfriamiento y de detección de fugas. El aire puro, libre de contaminantes, se utiliza en salas blancas para mantener las estrictas normas de calidad.
La medición del caudal de estos gases costosos es fundamental para garantizar un control uniforme de costes, procesos, eficiencia y seguridad. La supervisión precisa del caudal permite un suministro de gas preciso, lo que minimiza los desechos y garantiza un rendimiento óptimo en los procesos de fabricación.
